Karolo ea ho Sila ka ho Nepahetseng ea Phofo e Tšoeu ea Alumina Micropowder Indastering ea Semiconductor
Metswalle, kajeno re tlo bua ka ntho e thata le e bonolo—phofo e nyenyane ea alumina e sootho e kopantsoeng. Mohlomong ha o a ka wa utlwa ka hona, empa di-chip tsa bohlokwa le tse bonolo ka ho fetisisa fonong ya hao le smartwatch, pele di etswa, mohlomong di ne di se di sebetsane le hona. Ho e bitsa "setsebi se seholo sa botle" sa chip ha se ho feteletsa taba.
O se ke wa nahana hore ke sesebelisoa se thata jwalo ka lejwe la ho tjhesa. Lefatsheng la di-semiconductors, e bapala karolo e bonolo jwalo ka sebopi se senyenyane se sebedisang di-scalpel tse nyane.
I. "Ho betla Sefahleho" ha Chip: Hobaneng ho Sila ho Hlokahala?
A re utloisiseng ntho e le 'ngoe pele: li-chips ha li mele ka ho toba mobung o bataletseng. Li "hahiloe" ka mekhahlelo holim'a wafer ea silicon e hloekileng haholo, e bataletseng (eo re e bitsang "wafer"), joalo ka ho haha moaho. "Moaho" ona o na le mekato e mengata, 'me potoloho mokatong o mong le o mong e tšesaane ho feta sekete sa botenya ba moriri oa motho.
Kahoo bothata ke bona: ha o haha mokato o mocha, haeba motheo—bophahamo ba mokatong o fetileng—o sa lekana hanyane, leha o na le karolo e nyane joalo ka athomo, e ka etsa hore moaho oohle o sothehe, o se ke oa potoloha ka nako e telele, 'me oa etsa hore li-chip li se ke tsa sebelisoa. Tahlehelo ha se metlae.
Ka hona, kamora hore mokatong o mong le o mong o phetheloe, re tlameha ho etsa "ho hlwekisa" le "ho batalatsa" ka botlalo. Ts'ebetso ena e na le lebitso le letle: "Ho rala Mechanical Planarization ea Lik'hemik'hale," e khutsufalitsoeng e le CMP. Leha lebitso le utloahala le rarahane, molao-motheo ha o thata ho o utloisisa: ke motsoako oa ho bola ha lik'hemik'hale le ho hohlana ha mechini.
“Punch” ea lik'hemik'hale e sebelisa mokelikeli o khethehileng oa ho bentša ho nolofatsa le ho senya thepa e lokelang ho tlosoa, e leng se etsang hore e be “bonolo” haholoanyane.
"Ho otla" ha mechine hoa kenella—phofo e sootho ea corundum micropowderMosebetsi oa eona ke ho sebelisa mekhoa ea 'mele ho "hlakola" thepa e "nolofalitsoeng" ke ts'ebetso ea lik'hemik'hale ka nepo le ka ho lekana.
U ka 'na ua botsa, kaha ho na le lintho tse ngata tse hlabang tse fumanehang, hore na ke hobane'ng ha ena e le eona ka ho khetheha? Ke hona moo litšobotsi tsa eona tse ikhethang li hlahang teng.
II. “Phofo e nang le Micronized e sa kang ea sebelisoa ka micronized hakaalo”: Bokhoni bo ikhethang ba Alumina e sootho e kopantsoeng
Indastering ea semiconductor, phofo e sootho e kopantsoeng ea alumina e sebelisoang ha se sehlahisoa se tloaelehileng. Ke yuniti ea "matla a khethehileng", e khethiloeng ka hloko le ho hloekisoa.
Taba ea pele, ho thata ho lekana, empa ha se ho se tsotelle.Alumina e sootho e kopantsoengBothata ba 'ona bo latela taemane feela, bo lekane ho sebetsana le thepa ea chip e sebelisoang hangata joalo ka silicon, silicon dioxide le tungsten. Empa senotlolo ke hore bothata ba 'ona ke bothata bo "thata". Ho fapana le thepa e 'ngoe e thata (joalo ka taemane) e robehang habonolo 'me e robeha habonolo tlas'a khatello, alumina e sootho e kopantsoeng e boloka botsitso ba eona ha e ntse e netefatsa matla a ho seha, e qoba ho ba "ntho e senyang."
Sa bobedi, boholo ba dikarolwana tsa yona tse tshesane bo netefatsa ho seha ho lekana. Ena ke ntlha ya bohlokwa ka ho fetisisa. Ak'u nahane o leka ho bentsha jade ya bohlokwa ka qubu ya majwe a boholo bo fapaneng. Majwe a maholo a tla siya dikoti tse tebileng ka ho ke keng ha qojwa, athe a manyane a ka ba manyane haholo hore a ka sebediswa ho ona. Ditshebetsong tsa CMP (Chemical Mechanical Polishing), sena ha se amohelehe ho hang. Phofo e sootho e kopantsweng ya alumina e sebediswang di-semiconductors e tlameha ho ba le kabo e nyane haholo ya boholo ba dikarolwana. Sena se bolela hore hoo e ka bang dikarolwana tsohle di batla di lekana ka boholo. Sena se netefatsa hore dikarolwana tse diketekete tsa phofo e nyane di tsamaya ka kutloano hodima bokahodimo ba wafer, di sebedisa kgatello e lekanang ho etsa bokahodimo bo se nang sekoli, eseng bo nang le dikoti. Ho nepahala hona ho maemong a nanometer.
Sa boraro, ke moemedi ya "tshepahalang" ka dikhemikhale. Tlhahiso ya ditshipi e sebedisa mefuta e mengata ya dikhemikhale, ho kenyeletswa le tikoloho ya asiti le alkaline. Phofo e nyane ya alumina e sootho e tsitsitse haholo ka dikhemikhale mme ha e arabele habonolo le dikarolo tse ding mokelikeling o benyang, e thibela ho kenngwa ha ditshila tse ntjha. Ho tshwana le mohiruoa ya sebetsang ka thata, ya sa ikgohomoseng—mofuta wa motho eo baokamedi (baenjiniere) ba mo ratang.
Sa bone, sebopeho sa yona se a laoleha, se hlahisa dikarolwana tse "boreledi". Phofo e nyane ya alumina e sootho e tswetseng pele e ka laola le "sebopeho" (kapa "sebopeho") sa dikarolwana. Ka tshebetso e ikgethang, dikarolwana tse nang le mathoko a bohale di ka fetolwa ho ba dibopeho tse batlang di le chitja kapa tse nang le mahlakore a mangata. Dikarolwana tsena tse "boreledi" di fokotsa ka katleho phello ya "ho thiba" hodima bokahodimo ba wafer nakong ya ho seha, e leng se fokotsang kotsi ya ho ngoatheha haholo.
III. Tšebeliso ea Lefatše la 'Nete: "Peiso e Khutsitseng" Moleng oa Tlhahiso ea CMP
Moleng oa tlhahiso ea CMP, li-wafer li tšoaroa ka thata sebakeng sa tsona ka li-chuck tsa vacuum, li theohe holimo, li hatelloa holim'a pad e potolohang ea ho bentša. Mokelikeli o bentšang o nang le phofo e sootho ea alumina e kopantsoeng o fafatsoa khafetsa, joalo ka moholi o mosesaane, pakeng tsa pad e bentšang le wafer.
Mothating ona, ho qala "peiso e nepahetseng" lefatšeng le senyenyane. Libilione tsa likaroloana tsa alumina micropowder tse sootho tse kopantsoeng, tlas'a khatello le potoloho, li etsa likoto tse limilione tsa boemo ba nanometer ka motsotsoana holim'a wafer. Li tlameha ho tsamaea ka bonngoe, joalo ka lebotho le laolehileng, li tsoela pele hantle, li "batalatsa" libaka tse phahameng 'me li "siee libaka tse tlase li se na letho".
Ts'ebetso eohle e lokela ho ba bonolo joaloka moea o fokang oa selemo, eseng sefefo se matla. Matla a feteletseng a ka ngoapa kapa a baka mapetso a manyenyane (a bitsoang "tšenyo ea subsurface"); matla a sa lekaneng a lebisa ho sebetseng hantle 'me a sitisa kemiso ea tlhahiso. Ka hona, taolo e nepahetseng holim'a mahloriso, boholo ba likaroloana, le sebopeho sa phofo e sootho e kopantsoeng ea alumina micropowder e khetholla ka ho toba chai ea ho qetela ea chip le ts'ebetso.
Ho tloha ho polishing ea pele e se nang letho ea li-wafer tsa silicon, ho ea ho planarization ea lera le leng le le leng la insulation (silicon dioxide), 'me qetellong ho ea ho polishing ea li-plug tsa tungsten le lithapo tsa koporo tse sebelisoang bakeng sa lipotoloho tse hokahanyang, phofo e sootho ea alumina e kopantsoeng e bohlokoa hoo e ka bang mohatong o mong le o mong oa bohlokoa oa planarization. E kenella ts'ebetsong eohle ea tlhahiso ea li-chip, e leng "mohale ea ka morao ho liketsahalo."
IV. Liphephetso le Bokamoso: Ha ho na se molemohali, se molemohali feela
Ehlile, tsela ena ha e na pheletso. Ha lits'ebetso tsa tlhahiso ea li-chip li ntse li tsoela pele ho tloha ho 7nm le 5nm ho ea ho 3nm le boholo bo bonyenyane le ho feta, litlhoko tsa lits'ebetso tsa CMP li fihlile boemong bo "feteletseng". Sena se hlahisa liphephetso tse kholo le ho feta bakeng sa phofo e sootho e kopantsoeng ea alumina:
E ntle ebile e tšoana haholoanyane:Liphofo tse nyane tsa nakong e tlangho ka 'na ha hlokahala hore e fihle ho mashome a nanometer sekala, ka kabo ea boholo ba likaroloana e lekana joalokaha eka e sefshoa ke laser.
Sehloekisi: Litšila life kapa life tsa ioni tsa tšepe lia bolaea, e leng se lebisang litlhokong tse ntseng li eketseha tsa bohloeki.
Ho sebetsa: Na "liphofo tse bohlale tse nyenyane" li tla hlaha nakong e tlang? Mohlala, ka libaka tse fetotsoeng ka ho khetheha, li ka fetola litšobotsi tsa ho seha tlas'a maemo a itseng, kapa tsa finyella ho itlhoekisa, ho itlotsa, kapa mesebetsi e meng?
Ka hona, ho sa tsotellehe tšimoloho ea eona indastering ea setso ea ho khohlela, phofo e nyenyane ea alumina e sootho e fetotsoeng e ntle haholo hang ha e kena tšimong ea sejoale-joale ea li-semiconductor. Ha e sa le "hamore," empa ke "scalpel ea nanosurgical." Bokaholimo bo boreleli ba chip ea mantlha sesebelisoa se seng le se seng se tsoetseng pele sa elektroniki seo re se sebelisang bo teng ka lebaka la likaroloana tse nyenyane tse se nang palo.
Ena ke projeke e kgolo e entsweng lefatsheng la microscopic, mmephofo e nyenyane ea alumina e sootho e kopantsoengHa ho pelaelo hore ke setsebi se hloahloa se khutsitseng empa se sa hlokahaleng morerong ona.