Mohlolo lefapheng la thepa e sebetsang
E letaemaneTšebeliso ea eona, e kenyelletsa mefuta e mengata ea mahlale 'me e thata haholo. E hloka lipatlisiso tsa tšebelisano-'moho masimong a fapaneng hore e phethahale ka nako e khutšoanyane. Nakong e tlang, ho hlokahala ho nts'etsapele le ho ntlafatsa theknoloji ea kholo ea taemane ea CVD khafetsa le ho hlahloba ts'ebeliso eaTaemane ea CVDFilimi ka har'a li-acoustic, optics le motlakase. E tla ba thepa e ncha bakeng sa nts'etsopele ea theknoloji e phahameng lekholong la bo21 la lilemo. Tšebeliso ea CVD e ka sebelisoa bakeng sa thepa ea boenjiniere le thepa e sebetsang. Se latelang ke selelekela feela sa lits'ebetso tsa eona tse sebetsang.
Thepa e sebetsang ke eng? Thepa e sebetsang e bolela thepa e fapaneng e nang le mesebetsi ea 'mele le ea lik'hemik'hale joalo ka leseli, motlakase, makenete, molumo le mocheso o sebelisoang indastering le theknolojing, ho kenyeletsoa thepa e sebetsang ea motlakase, thepa e sebetsang ea makenete, thepa e sebetsang ea optical, thepa e tsamaisang lintho tse ngata, thepa ea bongaka, lera le sebetsang, jj.
Lera le sebetsang ke eng? Litšobotsi tsa lona ke life? Lera le sebetsang le bolela thepa e tšesaane ea filimi e nang le litšobotsi tsa 'mele tse kang leseli, makenete, ho sefa motlakase, ho monya metsi, le litšobotsi tsa lik'hemik'hale tse kang catalysis le reaction.
Litšobotsi tsa thepa ea filimi e tšesaane: Thepa ea filimi e tšesaane ke thepa e tloaelehileng ea mahlakore a mabeli, ke hore, e kholo sekaleng tse peli 'me e nyane sekaleng sa boraro. Ha e bapisoa le thepa e sebelisoang hangata ea mahlakore a mararo, e na le litšobotsi tse ngata ts'ebetsong le sebopehong. Tšobotsi e kholo ka ho fetisisa ke hore litšobotsi tse ling tsa lifilimi tse sebetsang li ka finyelloa ka mekhoa e khethehileng ea ho lokisa filimi e tšesaane nakong ea ho lokisetsa. Ke ka lebaka lena thepa ea filimi e tšesaane e fetohileng taba e chesang ea tlhokomelo le lipatlisiso.
E lethepa ea mahlakore a mabeli, tšobotsi ea bohlokoa ka ho fetisisa ea thepa ea filimi e tšesaane ke tšobotsi e bitsoang boholo, e ka sebelisoang ho fokotsa le ho kopanya likarolo tse fapaneng. Tšebeliso e mengata ea thepa ea filimi e tšesaane e thehiloe ntlheng ena, eo e tloaelehileng ka ho fetisisa e sebelisoang lipotolohong tse kopaneng le ho eketsa bongata ba polokelo ea likarolo tsa polokelo ea khomphutha.
Ka lebaka la boholo bo bonyenyane, karolo e lekanyelitsoeng ea bokaholimo le sebopeho sa thepa e tšesaane ea filimi e kholo haholo, 'me litšobotsi tse bontšitsoeng ke bokaholimo li hlahella haholo. Ho na le letoto la litlamorao tsa 'mele tse amanang le sebopeho sa bokaholimo:
(1) Phetiso e kgethilweng le pontsho e bakwang ke phello ya tshitiso ya lesedi;
(2) Ho hasana ho sa fetoheng ha motlakase ho bakoang ke ho thulana ha dielektrone le bokaholimo ho baka diphetoho tsa ho tsamaisa motlakase, coefficient ya Hall, phello ya matla a makenete a hajwale, jj.;
(3) Hobane botenya ba filimi bo bonyenyane haholo ho feta tsela e mahareng ya dielektrone mme bo haufi le bolelele ba leqhubu la dielektrone ba Drobyi, dielektrone tse tsamayang pele le morao pakeng tsa bokahodimo bo babedi ba filimi di tla sitisa, mme matla a amanang le motsamao o otlolohileng wa bokahodimo a tla nka boleng bo arohaneng, bo tla ama phetisetso ya dielektrone;
(4) Holim'a bokaholimo, liathomo lia sitisoa nako le nako, 'me boemo ba matla a bokaholimo le palo ea maemo a bokaholimo a hlahisoang ke a tatellano e tšoanang le palo ea liathomo tsa bokaholimo, e leng se tla ba le tšusumetso e kholo linthong tse nang le lijari tse fokolang tse kang li-semiconductor;
(5) Palo ea liathomo tse haufi tsa liathomo tsa makenete tsa bokaholimo ea fokotseha, e leng se etsang hore motsotso oa makenete oa liathomo tsa bokaholimo o eketsehe;
(6) Anisotropy ea thepa e tšesaane ea filimi, jj.
Kaha tshebetso ya thepa ya filimi e tshesane e angwa ke tshebetso ya ho lokisa, boholo ba tsona di boemong bo sa leka-lekaneng nakong ya tshebetso ya ho lokisa. Ka hona, sebopeho le sebopeho sa thepa ya filimi e tshesane di ka fetolwa ka mefuta e mengata ntle le ho thibelwa ke boemo ba teka-tekano. Ka hona, batho ba ka lokisa thepa e mengata eo ho leng thata ho e fihlella ka thepa e ngata mme ba fumana thepa e ntjha. Ena ke karolo ya bohlokwa ya thepa ya filimi e tshesane mme ke lebaka la bohlokwa leo ka lona thepa ya filimi e tshesane e hohelang tlhokomelo ya batho. Hore na ho sebediswa mekgwa ya dikhemikhale kapa ya mmele, filimi e tshesane e entsweng e ka fumanwa.